题名:	微电子机械系统 / 姜岩峰 ,
ISBN:	7-5025-8158-8 价格： 28.00
载体形态:	194页 26cm
出版发行:	出版地：北京出版社：化学工业出版社出版日期： 20060101
内容提要:	本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识,主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨.主要内容包括:MEMS的相关力学量测量方法,MEMS中的主要工艺,MEMS系统中的传感器,MEMS系统仿真.....
主题词:	微电子技术
中图分类法:	TH-39 版次：