题名:
半导体器件工艺手册   / (美)图雷蒲 ,
ISBN:
7-5053-0031-8 价格: 3.65
载体形态:
271页 26厘米
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 电子工业出版社 出版日期: 19870501
内容提要:
本书系统地介绍了硅晶体管和集成电路的生产工艺及经常应用的数据和公式。 
主题词:
半导体器件-半导体工艺  
中图分类法:
TN3 版次: