题名:
半导体制造系统调度
/ 吴启迪，乔非，李莉 ,
ISBN:
7-121-03191-4 价格： 35.00
载体形态:
250页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
电子工业出版社
出版日期： 20060901
内容提要:
本书以半导体制造系统调度为研究对象，在全央分析半导体制造系统调度特点的基础上，对半导体制造系统调度中存在的问题进行了详细地解剖、分析，并对各个问题的求解方法进行了详细介绍，最后通过实例介绍了各调度问题解决方案的使用方法。
主题词:
半导体工艺
中图分类法:
TN305 版次：