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题名:
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薄膜晶体管物理、工艺与SPICE建模 / 雷东著 , |
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ISBN:
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978-7-121-29394-8 价格： 15.6 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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154页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2016.08 |
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内容提要:
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本书以显示面板设计和制造过程中的经验为依据，详细分析并阐述了TFT的器件物理、制造工艺以及SPICE建模的相关内容。全书分为6章。第1章阐述了TFT用于平板显示的技术原理，以及针对TFT进行SPICE建模前所需要掌握的基础知识。第2章、第3章内容，主要是针对a-Si TFT进行的分析和阐述。第4章、第5章分析了LTPS TFT的器件物理、工艺及SPICE模型。第6章针对目前新型的IGZO工艺进行了阐述，主要介绍了IGZO材料及器件的物理性质，以及业界广泛采用的IGZO TFT的结构和工艺过程。 |
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中图分类法:
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TN321 版次： |