题名:
微系统设计与制造
/ 王喆垚编著 ,
ISBN:
978-7-302-39167-8 价格： 117.6
语种:
chi
载体形态:
742页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
清华大学出版社
出版日期： 2015.1
内容提要:
本书主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。
中图分类法:
TN40 版次：