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题名:
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芯片制造：半导体工艺与设备 / 陈译，陈铖颖，张宏怡编著 , |
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ISBN:
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978-7-111-68881-5 价格： 55.2 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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188页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2022.01 |
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内容提要:
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本书着重介绍了半导体制造设备，并从实践的角度出发，选取了具有代表性的设备进行讲解。为了尽量能够让读者加深对各种设备用途的理解，采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式，力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。 |
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中图分类法:
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TN430.5 版次： |