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题名:
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反应性气体等离子体理论及应用研究 / 刘相梅著 , |
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ISBN:
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978-7-5661-3167-6 价格： 18 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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122页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工程大学出版社 出版日期： 2021.1 |
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内容提要:
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全书内容主要分为两篇：第一篇为低温低气压反应性气体放电，主要介绍了低温等离子体放电的基础知识、研究了射频SiH4放电特性和二维甚高频放电中相位差对SiH4、SiH4/H2等反应气体放电特性的影响，以及SiH4/NH3/N2等反应气体放电特性；第二篇为低温大气压反应性气体放电，主要介绍了低温大气压等离子体放电的基础知识、大气压乙炔微等离子体放电，以及乙炔微放电中模式转换现象。本书比较系统地介绍了反应性气体放电特性，并给出了相应结论，为优化等离子体工艺提供了必要的科学依据以适用大部分科研人员的需要。 |
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中图分类法:
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O461 版次： |