|
题名:
|
微细加工与微纳加工技术及应用 / 赵波，李伯民，李清等编著 , |
|
ISBN:
|
978-7-122-36940-6 价格： 79 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
214页 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2021.01 |
|
内容提要:
|
本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。 |
|
中图分类法:
|
TG66 版次： |