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题名:
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微电子超声键合过程的相互作用与检测 / 韩雷著 , |
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ISBN:
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978-7-5487-3766-7 价格： 69 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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212页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 长沙 出版社： 中南大学出版社 出版日期： 2019.11 |
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内容提要:
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本书的主要内容包括：绪论，微芯片双悬臂结构动力学检测与分析；键合机理的主成分分析；基于傅立叶分析和主成分分析的监测图像特征识别；胶液铺展过程检测与分析等。 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |