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题名:
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半导体薄膜技术基础 / 李晓干，刘勐，王奇编著 , |
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ISBN:
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978-7-121-32880-0 价格： 29.4 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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140页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2018.02 |
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内容提要:
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本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 |
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中图分类法:
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TN304.055 版次： |
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附注:
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普通高等教育“十三五”规划教材 微电子与集成电路设计系列规划教材 |