题名:
直拉单晶硅工艺技术
/ 黄有志，王丽主编 ,
ISBN:
978-7-122-29885-0 价格： 14
语种:
chi
载体形态:
130页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
化学工业出版社
出版日期： 2017.08
内容提要:
本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。
中图分类法:
TN304.053 版次：
附注:
太阳能光伏产业——硅材料系列教材