题名:
微光机电系统
/ (美)莫塔麦迪 ,
ISBN:
978-7-118-06365-3 价格： 68.00
载体形态:
510页 23cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
国防工业出版社
出版日期： 20100001
内容提要:
本书介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展，然后对MEMS和微光学以及两种技术组合的发展潜力进行回顾和评述。
主题词:
微光技术
中图分类法:
TH-39 版次：