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题名:
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微光学和纳米光学制造技术 / (美)Shanalyn A. Kemme , |
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ISBN:
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978-7-111-39448-8 价格： 66.00 |
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载体形态:
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196页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 20120001 |
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内容提要:
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本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维(3D)光子晶体的制造——钨成型法。本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家，代表了当今微光学加工的领先水平。 |
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主题词:
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微光技术 |
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中图分类法:
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TN223 版次： |