题名:	MEMS/MOEMS封装技术——概念、设计、材料及工艺 / （美）肯·吉列奥（Ken Gilleo）著 ,
ISBN:	978-7-122-01518-1 价格：
出版发行:	出版地：出版社：化学工业出版社出版日期： 2008年01月
中图分类法:	TN405.94 版次：