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题名:
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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器 [ 专著] Duo Jing Gui Na Mi Bao;Bo Mo Ya Zu Shi Ya Li Chuan;Zhuan Gan Qi / 陆学斌著 , |
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ISBN:
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978-7-301-33905-3 价格： CNY68.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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160页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。共分5章，第1章主要介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第2章主要介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第3章主要研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第4章主要研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第5章主要介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。 |
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主题词:
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多晶 纳米材料 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 5 |
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主要责任者:
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陆学斌 lu xue bin 著 |
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索书号:
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3 |