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题名:
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微加工技术工艺原理与实验 [ 专著] wei jia gong ji shu gong yi yuan li yu shi yan / 陈军[等]编著 , |
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ISBN:
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978-7-302-66121-4 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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247页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书共6篇，每篇2章，合计12章。第一篇介绍微加工技术的发展现状和基本流程，以及微加工工艺环境和实验室安全事项；第二篇介绍光刻工艺；第三篇介绍刻蚀工艺；第四篇介绍薄膜制备工艺；第五篇介绍掺杂工艺；第六篇介绍工艺集成与集成电路的制造方法。 |
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主题词:
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特种加工 高等学校 |
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中图分类法:
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TG66 版次： 5 |
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主要责任者:
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陈军 chen jun 编著 |
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附注:
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面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材 |