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题名:
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微电子工艺实验教程 [ 专著] wei dian zi gong yi shi yan jiao cheng / 王珏主编 , |
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ISBN:
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978-7-121-50690-1 价格： CNY45.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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161页 彩图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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集成电路科学与工程系列教材 |
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内容提要:
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本书设计了12个实验，包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有详细的操作指导，还安排了启发性思考题和拓展实验内容。 |
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主题词:
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微电子技术 实验 |
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中图分类法:
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TN4-33 版次： 5 |
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主要责任者:
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王珏 wang jue 主编 |