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题名:
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真空镀膜技术与应用 [ 专著] / 田灿鑫主编 , |
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ISBN:
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978-7-5629-6979-2 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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234页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 武汉 出版社： 武汉理工大学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上，着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等，紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容，最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出，内容丰富而精炼，工程实践性强，在强化理论的同时，重点突出了工程应用，具有很强的实用性。 |
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主题词:
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真空技术 镀膜 |
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中图分类法:
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TN305.8 版次： 5 |
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主要责任者:
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田灿鑫 主编 |