|
题名:
|
IC Fabrication微电子制造技术概论 / 严利人，周卫，刘道广 , |
|
ISBN:
|
978-7-302-20818-1 价格： 0.00 |
|
载体形态:
|
164页 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 20100001 |
|
内容提要:
|
本书介绍和描述了集成电路工逮捕制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。 |
|
主题词:
|
微电子技术 |
|
中图分类法:
|
TN4 版次： |