|
题名:
|
半导体制造技术
/
(美)Michael Quirk，Julan Serda
,
|
|
ISBN:
|
978-7-121-08944-2
价格：
0.00
|
|
载体形态:
|
600页
26cm
|
|
出版发行:
|
出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
20090001
|
|
内容提要:
|
本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了各种新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分2章，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来。
|
|
主题词:
|
半导体工艺
|
|
中图分类法:
|
TN305
版次：
|