题名:
集成电路芯片制造
/ 杨发顺 ,
ISBN:
978-7-302-49552-9 价格： 0.00
载体形态:
xiii, 155页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
清华大学出版社
出版日期： 20180101
内容提要:
本书共分为11章, 内容包括: 概述、衬底材料、微电子器件结构、芯片制造工艺、半导体制造中的玷污控制、光刻工艺、刻蚀工艺、掺杂工艺; 等等。
主题词:
集成电路
中图分类法:
TN405 版次：