|
题名:
|
薄膜材料制备原理、技术及应用 / 唐伟忠 , |
|
ISBN:
|
978-7-5024-3097-9 价格： 0.00 |
|
载体形态:
|
10,323页 20cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 20120101 |
|
内容提要:
|
本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。 |
|
主题词:
|
薄膜制品 |
|
中图分类法:
|
TQ320.72 版次： |