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题名:
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集成电路芯片制造实用技术 / 卢静 , |
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ISBN:
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978-7-111-34458-2 价格： 0.00 |
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载体形态:
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214页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 20110101 |
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内容提要:
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本书以集成电路芯片的制造工艺流程为主线，涵盖了集成电路芯片制造的主要技术。全书共分9章，内容包括概述、硅晶圆制程、硅晶薄膜制备、氧化工艺、掺杂工艺、光刻工艺、刻蚀制程、芯片封装、集成电路芯片品检。 |
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主题词:
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集成电路 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |