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题名:
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维纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 / 顾长志 , |
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ISBN:
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978-7-03-037825-5 价格： 0.00 |
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载体形态:
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353页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 20130101 |
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内容提要:
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本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理与实践的结合，包括光学曙光、电子束曙光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印，刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。 |
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主题词:
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纳米材料 |
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中图分类法:
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TB383 版次： |