题名:
半导体芯片制造技术
/ 杜中一 ,
ISBN:
978-7-121-15396-9 价格： 0.00
载体形态:
152页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
电子工业出版社
出版日期： 20120101
内容提要:
本书介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积等。
主题词:
芯片
中图分类法:
TN430.5 版次：