题名:
微纳加工科学原理
/ 唐天同,王兆宏 ,
ISBN:
978-7-121-11018-4 价格： 0.00
载体形态:
10,525页 27cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
电子工业出版社
出版日期： 20100001
内容提要:
本书主要内容包括: 光子、电子、离子和等离子体及其作用, 常用的衬底与薄膜材料, 微细图形技术, 薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法, 以及微细结构的光学等。
主题词:
纳米材料
中图分类法:
TB383 版次：