题名:	真空镀膜 / 李云奇 ,
ISBN:	978-7-122-12780-8 价格： 0.00
载体形态:	310页 26cm
出版发行:	出版地：北京出版社：化学工业出版社出版日期： 20120101
内容提要:	全书共分为11章, 内容包涵了真空镀膜中物理基础, 各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求, 各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控等。
主题词:	真空技术
中图分类法:	TN305.8 版次：