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题名:
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薄膜技术与薄膜材料
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田民波，李正操
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ISBN:
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978-7-302-27483-4
价格：
0.00
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载体形态:
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13,531页
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
清华大学出版社
出版日期：
20110101
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内容提要:
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本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用4大部分，涉及大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池、材料表面改性等领域。
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主题词:
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薄膜技术
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中图分类法:
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TB43
版次：
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