|
题名:
|
MEMS可靠性 / (美)Allyson L. Hartzell，(美)Mark G. da Silva，(瑞士)Herbert R. Shea , |
|
ISBN:
|
978-7-121-18805-3 价格： 0.00 |
|
载体形态:
|
13,220页 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 20120101 |
|
内容提要:
|
本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。 |
|
主题词:
|
微电子技术 |
|
中图分类法:
|
TN4 版次： |