题名:
薄膜材料科学
/ (美)Milton Ohring ,
ISBN:
978-7-118-08144-2 价格： 0.00
载体形态:
15,484页 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
国防工业出版社
出版日期： 20130101
内容提要:
本书分12章，内容包括：材料科学基础、真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺、化学气相沉积、基底表现与薄膜成核、外延生长、薄膜结构等。
主题词:
薄膜
中图分类法:
TB383 版次：