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题名:
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纳米集成电路制造工艺 / 张汝京 , |
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ISBN:
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978-7-302-36027-8 价格： 0.00 |
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载体形态:
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13,433页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 20140101 |
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内容提要:
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本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性等项目和课题。 |
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主题词:
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纳米材料 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |