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题名:
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集成电路制造技术
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杜中一
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ISBN:
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978-7-122-26284-4
价格：
0.00
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载体形态:
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172页
24cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
20160101
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内容提要:
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本书全面系统地介绍了集成电路制造技术，内容包括：集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。本书简要介绍了集成电路制造的基本理论基础，系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备，详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。
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主题词:
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集成电路工艺
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中图分类法:
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TN405
版次：
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