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题名:
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微机电系统及工程应用 / 莫锦秋, 梁庆华, 王石刚 , |
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ISBN:
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978-7-122-23883-2 价格： 0.00 |
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载体形态:
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191页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 20150101 |
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内容提要:
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本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TN4 版次： |