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题名:
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微机电技术 / 田文超，娄利飞 , |
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ISBN:
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978-7-5606-3335-0 价格： 0.00 |
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载体形态:
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412页 23cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西安电子科技大学出版社 出版日期： 20140101 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容，包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用，RF MEMS及重构天线，MEME力学问题等。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： |