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题名:
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集成电路制造技术 / 张亚非, 段力 , |
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ISBN:
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978-7-313-18651-5 价格： 0.00 |
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载体形态:
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439页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 20180101 |
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内容提要:
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本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术, 既有基本原理和工艺技术的阐述, 也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化 (光刻)、加法 (薄膜的技术) 减法 (刻蚀技术) 乘除法 (离子注入、silicide) 及其集成电路工程学 (良率、可靠性) 和集成电路后勤工作 (超净间、IC衍生产业链) 几大类, 便于学生掌握、记忆和类推。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |