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题名:
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MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机 / (美)JeffreyH.Lang, 刘欢.. , |
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ISBN:
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978-7-118-10543-8 价格： 0.00 |
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载体形态:
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XI, 361页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 20160001 |
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内容提要:
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本书第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件, 如线圈和磁芯, 形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。第8章介绍了MEMS发电机的工作原理。第9章重点介绍了MEMS的尺度燃烧。 |
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主题词:
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旋转机构 |
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中图分类法:
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TH21 版次： |