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题名:
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微机电系统 (MEMS): 元器件、电路及系统集成技术和应用 / (美)维卡斯·乔杜里,(加)克日什托夫·印纽斯基, 周海宪,程云芳,周华伟 , |
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ISBN:
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978-7-111-64958-8 价格: 0.00 |
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载体形态:
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XXIII, 383页 26cm |
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出版发行:
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出版地: 北京 出版社: 机械工业出版社 出版日期: 20200001 |
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主题词:
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微机电系统 |
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中图分类法:
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TH 版次: |