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题名:
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硅片的超精密磨削理论与技术 / 郭东明, 康仁科 , |
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ISBN:
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978-7-121-36300-9 价格： 0.00 |
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载体形态:
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240页, [9] 页图版 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 20190101 |
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主题词:
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硅 |
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中图分类法:
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TN304.1 版次： |