题名:
半导体制造工艺基础
/ (美) 施敏, 梅凯瑞, 陈军宁, 柯导明, 孟坚 ,
ISBN:
978-7-81110-292-5 价格： 0.00
载体形态:
284页 26cm
出版发行:
出版地： 合肥 出版社：
安徽大学出版社
出版日期： 20070101
主题词:
半导体工艺
中图分类法:
TN305 版次：