题名:
电子束刻蚀技术
/ (美)G.K.布鲁尔 ,
ISBN:
0 价格： 2.80
载体形态:
356页 20cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
国防工业出版社
出版日期： 19860101
主题词:
电子束光刻
中图分类法:
TN405.98 版次：