题名:	微机电系统 / ,
ISBN:	7-5025-4320-1 价格： 15.00
载体形态:	197页 21cm
出版发行:	出版地：北京出版社：化学工业出版社出版日期： 20030101
主题词:	微电机
中图分类法:	TM38-49 版次：