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题名:
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微光机电系统(MOEMS) / 张文栋，熊继军 , |
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ISBN:
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7-111-19266-4 价格： CNY28.00 |
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载体形态:
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10,310页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 20060101 |
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内容提要:
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本书介绍了微光机电系统(Micro-Optical-Electro-Mechanical System, MOEMS)的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真等。 |
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主题词:
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光电技术 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： |