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题名:
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半导体制造技术
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(美)夸克Michael Quirk，(美)Julian Serda
,
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ISBN:
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7-5053-9493-2
价格：
CNY55.00
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载体形态:
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12,600页
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
电子工业出版社
出版日期：
20040101
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内容提要:
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本书内容包括与半导体制造相关的基础技术信息、总体流程图的工艺模型概况、用流程图将硅片制造的主要领域连接起来、集成电路装配和封装的后部工艺概况等。
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主题词:
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半导体工艺
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中图分类法:
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TN305-43
版次：
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