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题名:
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微系统原理与技术
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傅建中，胡旭晓
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ISBN:
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7-111-15782-6
价格：
CNY26.00
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载体形态:
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223页
32开
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
机械工业出版社
出版日期：
20050101
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内容提要:
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微系统技术是以微米量级内的设计和制造技术为基础，研究开发微传感器、微致动器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微系统可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性提高到一个新的
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中图分类法:
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tp
版次：
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