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题名:
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微电子与光电子集成技术 / 陈弘达 , |
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ISBN:
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978-7-121-05150-0 价格： CNY48.00 |
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载体形态:
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303页 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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微电子技术与光电子技术紧密结合，相互渗透，必将推进信息技术及相关的高新技术进入新的发展阶段。本书共分为9章，从技术基础和实际应用的角度出发，着重对微电子与光电子集成技术相关的工艺基础、基本原理和关键集. |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN 版次： |