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题名:
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微机电系统基础 / (美)刘昶(Chang,L.) , |
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ISBN:
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978-7-111-23167-7 价格： CNY59.00 |
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载体形态:
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530页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 20080101 |
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内容提要:
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本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面。同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： |