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题名:
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等离子体放电原理与材料处理 / (美)迈克尔·A.力伯曼 , |
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ISBN:
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978-7-03-018659-1 价格： CNY75.00 |
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载体形态:
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585页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 20070101 |
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内容提要:
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本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等. |
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主题词:
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放电 |
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中图分类法:
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O461 版次： |