题名:	MEMS和微系统------设计与制造 / (美) 徐泰然 ,
ISBN:	7-111-13226-2 价格： CNY38.00
载体形态:	402页 24cm
出版发行:	出版地：北京出版社：机械工业出版社出版日期： 20040101
内容提要:	本书对MIEMS技术的基础进行了深入观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展、市场、产品、微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。
主题词:	微电子技术
中图分类法:	TH-39 版次：