|
题名:
|
电容式微机械陀螺仪设计 / 李锦明 , |
|
ISBN:
|
7-118-04585-3 价格： CNY22.00 |
|
载体形态:
|
182页 21cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 20060701 |
|
内容提要:
|
本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。 |
|
主题词:
|
陀螺仪 |
|
中图分类法:
|
TN965 版次： |