题名:
薄膜材料与薄膜技术
/ 郑伟涛 ,
ISBN:
7-5025-4938-2 价格： CNY38.00
载体形态:
313页 23cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
化学工业出版社
出版日期： 20040101
内容提要:
本书阐述薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行介绍、评论和展望。
主题词:
薄膜
中图分类法:
TB383 版次：